北京市对7纳米及以下先进制程集成电路项目实施排放强度奖励，基准值由0.85tCO₂/层下调至0.595tCO₂/层。某企业年产7纳米芯片光罩层数80层，年度配额=80×0.595×产能系数1.0=47.6吨，较常规核算减少20.4吨。文件要求提供ASML光刻机电子日志验证实际制程节点，虚标制程的企业按28纳米基准值1.5倍核算。核查机构使用SEM扫描电镜抽检芯片线宽，误差超±5%的项目取消三年奖励资格。行业数据显示，5纳米制程排放强度较14纳米降低51%。
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