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电子企业含氟气体排放从严广东采用实测GWP值计算

2025-7-11 09:45

半导体企业需实测SF6、NF3等气体的全球变暖潜势（GWP），每批次蚀刻机台气体消耗量需关联晶圆产量。年度泄漏率超过0.5%的企业碳排放总量按1.2倍核算。

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